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同时测定工业硅、高纯硅中的铁、钙、磷、硼、钠、钛等十七个杂质元素
2008/10/16 09:48
阅读：3136
FWS－1000型ICP-AES法同时测定
工业硅、高纯硅中Fe、Ca、P、B、Na、Ti等十七个杂质元素
摘要： 本文研究了ICP－AES法测定工业硅及高纯硅中杂质元素的具体测试方法，该方法对产品质量控制及检验杂质元素含量，具有可操作性和很好地应用价值。
关键词： ICP-AES、工业硅、高纯硅、杂质元素测定
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