样品通过稀酸稀释，经雾化器雾化，送入高温等离子体，进行干燥、原子化、电离，电离产生的离子经接口室进入质谱仪，先后经离子透镜系统和质量分析器至检测器，检测器对相应的待测元素离子做出响应（每秒内离子计数cps，counts per second），利用响应强度与离子浓度成正比关系，对溶液中待测元素进行定量分析。